自1902年在德国帕德博恩建立了第YI大规模水厂以来，世界上已有数千个臭氧水厂，在欧洲已达到普及的程度，美国、加拿大、日本等***都在大力发展臭氧处理饮用水工程。1980年加拿大蒙特利尔建成世界***大的臭氧水处理厂，日供水量230万吨，臭氧用量300kg/h。***新资料介绍，臭氧发生器单产量已达300kg O3/h，足够一个中等城市饮用水厂消毒使用。
我国由于经济发展水平限制，自来水厂应用臭氧消毒工艺比较少，北京、上海、抚顺等地在20世纪80年代建立了几个水厂，以北京田村水厂规模***大，臭氧装机总量15 kg/h，1997年昆明建成我国***大的臭氧水厂，臭氧装机总量33 kg/h，对提高供水质量发挥了重要作用。我国一些大型企业自供水采用臭氧消毒工艺比较积极，如大庆、胜利油田、燕山石化等臭氧水厂都在运行。
污水处理一般来说包含以下三级处理：一级处理是它通过机械处理，如格栅、沉淀或气浮，去除污水中所含的石块、砂石和脂肪、铁离子、锰离子、油脂等。二级处理是生物处理，污水中的污染物在微生物的作用下被降解和转化为污泥。三级处理是污水的深度处理，开封臭氧水处理，它包括营养物的去除和通过加氯、紫外辐射或臭氧技术对污水进行消毒。可能根据处理的目标和水质的不同，有的污水处理过程并不是包含上述所有过程。
我国瓶装水采用臭氧消毒净化，杀菌净化工艺较为普遍，粗略估算，矿泉水、纯水、洁净水厂一千多家，果蔬 臭氧水处理，约60%采用臭氧杀菌工艺。由于技术监督、防疫部门已形成共识，没有臭氧设备的瓶装水厂将很难在市场上竞争。随着瓶装水市场的发展，臭氧水处理添加量，国内发展了一大批臭氧设备生产企业。臭氧发生器、投加混合设备品种繁多，质量参差不齐。其关键在于处理水应达到（2.7～
4.5）×10-5mol/L(0.3～0.5mg/L)的臭氧溶解度值，这首先要求投加臭氧量应满足1m3
水2g O3的条件，同时必须保证水气充分接触并保持一定时间。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8 mg/L时容易达到溶解度要求
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