激光清洗物理原理可概括如下：
a）激光器发射的光束被需处理表面上的污染层所吸收。
b）大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体（高度电离的不稳定气体），产生冲击波。
c）冲击波使污染物变成碎片并被剔除。
d）光脉冲宽度必须足够短，以避免使被处理表面遭到***的热积累。
e）实验表明当金属表面上有氧化物时，激光除锈，等离子体产生于金属表面。
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在欧洲激光清洗系统早已应用在航空工业中。飞机的表面过一定时间后要重新喷漆，但是喷漆之前需要将原来的旧漆完全除去。传统的机械清除油漆法容易对飞机的金属表面造成损伤，给安全飞行带来隐患。如采用多个激光清洗系统，可在两天之内将一架A320空中客车表面的漆层完全除掉，且不会损伤到金属表面。
电子工业使用激光去除氧化物：电子工业需要高精度地去污，特别适合采用激光去氧化物。在电路板焊接前，元件针脚必须去氧化物以保证电接触，在去污过程中还不能损坏针脚。激光清洗可以满足使用要求，且效率很高，一个针脚只需照射一次激光。
激光清洗清除金属上的润滑剂、黑色及有色金属杂质，使得焊接和钎缝质量高、平滑且无气孔，获得稳定性和质量的可见焊缝。适于对钢材和铝材表面进行清洗，作为焊接面的预处理，应用于包括汽车工业、精密工具生产、造船业等产业。
激光清洗技术在与航空工业合作过程中，已经证实激光能够有效清洗镍、不锈钢、铝和高强度钢质模具或零件，且对基材无损伤。
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