合适的激光入射角度使清洗效果事半功倍
当激光以一定的倾斜角度入射时，激光直接辐射在粘附颗粒的下方，产生更高的热弹性应力，与垂直入射相比，污染物更容易被清除。此外，研究发现随着倾斜角度的增加，激光辐射面积更加宽广(见图4)，当倾斜的角度为20度时，被清洗区域的面积约为垂直入射时的10倍，有效地提高了激光清洗的效率。
激光清洗机除锈的两种方法，一种方法是使用干净的基材和表面附着物，以便在一定波长的激光能量下具有非常不同的吸收系数。照射到表面的大部分激光能量被表面附着体吸收，从而使其被加热或蒸发，或通过表面形成的蒸汽流动迅速膨胀并从物体表面赶走，以达到清洁的目的。然而，由于激光在这个波长下吸收的能量很小，激光除锈，基片不会受到损坏。选择合适的波长，控制激光能量，是实现安全清洗的关键。
激光清洗的方法主要可分为以下三类：
1. 激光干式清洗
采用激光辐射直接去污，激光被物体或污物颗粒吸收后，产生振动，从而使基体和污染物分离。激光干式清洗中污物粒子被去除方式主要有两种：一种是基体表面瞬时热膨胀，产生振动，使其表面吸附的粒子被去除。另一种是粒子本身的热膨胀而使粒子离开基体表面。
2. 激光湿式清洗
激光湿式清洗是先在待清洗的基体表面均匀覆盖一层液体介质膜，然后用激光辐射去污渍。根据介质膜和基体对激光的吸收情况，可将湿式清洗分为强基体吸收、强介质膜吸收和介质膜基体共同吸收。强基体吸收时，基体吸收激光能量后，将热量传递给液体介质膜，基体与液体界面处的液体层过热沸腾，液体层和污渍一起被去除。
3. 激光+惰性气体清洗
激光辐射的同时，用惰性气体吹向工件表面，当污染物从表面剥离后，就被气体远远吹离表面，避免清洁表面被污染和氧化。
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