





造工艺当然也越来越复杂。这些电子元器件包括插头、连接器、软垫、电缆、线路半导体器件等等。而这些器件的清洗在现在也只能使用激光清洗来完成,同时还会带来额外的益处。举个例子来说,导体的表面涂层的剥离,需要保证实现不能对防腐蚀涂层的损伤,传统的机械研磨和化学腐蚀等处理办法很难做到。
由于激光清洗在目前成本还有些许高昂且缺乏相应的***和技术标准,限制了激光清洗技术以更高的速率增长。同时增加激光设备的功率或者能量,将进一步的增加设备的成本,内孔激光清洗,这需要技术解决这一问题,让激光清洗设备的价格降到更低的一个水平。

激光清洗方法有4种:
1、激光干洗法,即采用脉冲激光直接辐射去污;
2、激光+液膜方法,即首先沉积一层液膜于基体表面,然后用激光辐射去污;当激光照射于液膜上时,液膜急剧受热,产生性汽化,性冲击波使基体表面的污物松散。并随冲击波飞离加工物体表面,达到去污的目的。
3、激光+惰性气体的方法,即在激光辐射的同时,用惰性气体吹向基体表面,当污物从表面剥离后会立即被气体吹离表面,以避免表面再次污染和氧化;
4、运用激光使污垢松散后,再用非腐蚀性化学方法清洗。目前,模具激光清洗,常用的是前3种方法。第4种方法仅应用于石质的清洗中,而一个完整的激光清洗系统包括:激光器或YAG激光器)、试样加工台、导光系统、控制台、辅助系统(如量热计、光束轮廓仪及其附件)。对于激光+液膜的清洗方法,还有液膜沉积系统。当采用激光+惰性气体的清洗方法时,还应该包括惰性气体的进入和排除系统。
激光清洗技术的国外发展现状
激光清洗技术研究起步于20世纪80年代中期,但直到20世纪90年代初期才真正步入工业生产中,在许多场合逐步取代传统清洗方法。
国外激光清洗的去污范围非常广泛,从厚锈层到激光表面微细颗粒都可以去除,在去污中涉及激光清洗实验所使用的设备种类也比较多,所用激光器的波长范围广,但激光清洗技术的发展不平衡,有些已实现工业化,有的还处于实验室阶段。
例如国外在激光模具的清洗方面,已经发展到1000 W激光手动清洗机;
电子线路清洗采用248 nm激光,3 W,激光清洗,20 ns,已经工业化;
在芯片领域,采用248 nm,5 W纳秒紫外清洗,效果非常好;
在光掩膜,采用紫外激光,激光清洗管材,已经完全取代传统化学方法;
在激光除锈、激光除污染物方面,已经规模化应用,而且实验先于理论。另外在半导体领域、磁头和绝缘体领域已经开始实验验证。

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