(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上，且由于溅射粒子带有高能量，在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高，可生产10nm以下的极薄连续膜。(9)靶材的寿命长，可长时间自动化连续生产。(10)靶材可制作成各种形状，配合机台的特殊设计做更好的控制及有效率的生产。
请问PVD镀膜与传统的化学电镀（水电镀）相比有何优点？
PVD镀膜与传统的化学电镀的相同点是，硬质涂层，两者都属于表面处理的范畴，都是通过一定的方式使一种材料覆盖在另一种材料的表面。 两者的不同点是：PVD镀膜膜层与工件表面的结合力更大，膜层的硬度更高，硬质涂层厂家，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定；PVD镀膜可以镀的膜层的种类更为广泛，可以镀出的各种膜层的颜色也更多更漂亮；PVD镀膜不会产生***或有污染的物质。
经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂。定期检查电气元件，清除灰尘，滚齿刀硬质涂层厂家，更换烧坏的元器件。
在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是：先将整个真空系统抽至真空状态，注意不要加热扩散泵，用手动打开精抽阀，然后按放气阀按钮让系统充入大气，当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。
停旋片泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，硬质涂层设备厂，污染真空管道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换。
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