真空电镀带正电荷的蒸发料离子，阴极吸引下，随同离子一同冲向工件，真空电镀当抛镀于工件表面上的蒸发料离子逾越溅失离子的数量时，真空电镀则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。
真空电镀工艺则有所不同，真空电镀是真空罩内进行的但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的，真空电镀蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)吸引下，真空电镀以很高的速度注入到工件表面。
在使用真空镀膜设备的时候经常会遇到这个问题，真空镀膜机抽速太慢太低了。那么面对这种情况有什么解决方法呢？应该如何提高它的抽速呢？
1、如果是刚使用真空镀膜机，可一边抽一边加温（通常都是200℃左右)1-2小时，除去水汽以及附着物。
2、真空蒸发镀膜机在生产的时候产品必须要用烤箱完全干燥之后才能进炉镀膜。
3、真空蒸发镀膜机机械泵加大或增加冷媒。
4、定期***和更换机械泵，扩散泵油和罗茨泵。
机床的正常运行的情况下，真空镀膜机启动机器，你必须首先打开水管，应始终注意在工作水压力。
同时，离子轰击和蒸发，应特别注意高压电线连接器，不能接触，以防电。涂层中的电子枪，对铝的外围铃。建议用铅玻璃观察窗玻璃，应戴上眼镜观察铅玻璃，防止X射线对***的。 多层介质膜的涂层的沉积，真空镀膜机应该安装通风除尘设备，及时排除***粉尘。
