Aerotech QNP-L系列单轴线性压电纳米***平台详细介绍
Aerotech QNP-L系列单轴线性压电纳米***平台
关键词:压电平台/纳米平台/压电陶瓷精密平台
Aerotech的QNP?系列压电纳米***平台以紧凑,高刚度的封装提供了亚纳米级的性能。多种行程范围(100 ?m至600 ?m)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。
紧凑包装中的高质量
QNP压电平台受精密挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。***终的设计提供了出色的刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,这些平台被设计为提供出色的几何性能(直线度和角度误差),同时***小化了整体平台的封装尺寸。
高分辨率和***精度
所有QNP压电级均采用独特的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量***滑架的输出,从而实现出色的精度和可重复性。
超精密控制
与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米***台具有亚纳米级的***分辨率和就位稳定性(抖动)以及高***带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选件提供了许多***而易于使用的工具,例如Learning Control,Harmonic Cancellation和Command Shaping,从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。
使用Aerotech的FlashConfig功能可实现自动参数和校准识别。平台会被自动识别,所有操作参数(包括轴校准数据)都将上载到控制器中,以确保安全,准确和真正的“即插即用”操作。
特点
? 行程范围从100 ?m至600 ?m
? 设备寿命长
? 高精度,无摩擦的挠性导向系统
? 借助直接计量电容传感器,可实现高达0.007%的出色***分辨率和线性度
? 与其他QNP系列压电纳米***器的安装兼容性
? 开环和真空版本
XY双轴搭配方案
高控科技 张巨鹏 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8