真空镀钛是指在真空的环境下，采用弧光放电，把阴极钛靶作为蒸发源，通过钛靶与阳极机体之间的弧光放电，使钛靶材蒸发并形成离子体，产生的离子体高速向产品上运动，在产品表面进行沉积，形成了钛膜层。
工件在入炉之前要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。
首先是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂，利用超声波进行脱脂、清洗。清洗之后，进行酸洗，它可以中和超声波清洗时残余的碱液，还能起到活化处理的作用。然后进行漂洗以彻底除去酸液，漂洗时必须采用去离子纯净水或蒸馏水。真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足，且各项技术指标都优于传统工艺，在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。经过三洗后，即时进行烘干，温度一般控制在100℃左右，时间为1h左右。也可以风吹干后马上人炉。
在检漏真空镀膜机过程中，须注意一些问题，才可以把检漏工作做好。
一，要确认漏气到底的虚漏还是实漏，因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要排除这种情况。
二，测试好真空室的气体密封性能，确保气密性能符合要求。
三，检查漏孔的大小，形状、位置，漏气的速度，制备出可解决方案并实施。
四，确定检测仪器的可检漏率和检漏灵敏性，以大范围的检测出漏气情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。
溅镀机设备与技能(磁控溅镀)
溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和操控系统构成。断定检查仪器的小可检漏率和检漏灵敏性，以很大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。溅射源又分为电源和溅射枪磁控溅射枪分为平面型和圆柱型，其间平面型分为矩型和圆型，靶资料利用率30- 40%，圆柱型靶资料利用率gt;50% 溅射电源分为：直流、射频、脉冲， 直流：800-1000V(Max)导体用，须可灾弧。
射频：13.56MHZ，非导体用。脉冲：泛用，新发展出溅镀时须操控参数有溅射电流，电压或功率，以及溅镀压力(5×10-1—1.0Pa)，若各参数皆安稳，膜厚能够镀膜时刻估量出来。