使用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。可是石英监控有一个欠好的地方即是当膜厚添加到必定厚度后，振动频率不全然因为石英自身的特性使厚度与频率之间有线性关系，此刻有必要使用新的石英振动片。
极值监控法：当膜厚度添加的时候其反射率和穿透率会跟着起改变，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就能够知道镀膜之光学厚度ND是监控波长（入）的四分之一的整倍数。
在真空镀膜设备的使用中，真空系统出现漏气的情况一般都是不可避免的，器壁材料有气孔、夹渣、裂纹，焊接、封接时有缺陷、密封面加工粗糙、有划痕等情况都会造成真空系统的漏气。一般镀件表面都存在微观不平整度，不一定厚度涂料的整平性，可以填补镀件表面的缺陷，使镀件表面达镜面平整度。真空度的高低是直接影响到镀膜效果的，因此对设备进行漏气检查是很有必要的。那么检查真空镀膜设备漏气的方法有哪些？
一、检查好漏孔的大小、位置、形状和漏气速度，根据它制备出可以解决的方案并实施。
二、要确认漏气是真漏还是虚漏。如果是虚漏，就需要排除。
炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。真空镀膜设备根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。
