臭氧脱硝经过氧化反应，加入的臭氧被反应所消耗，过量的臭氧可以在喷淋塔中分解。除了 NOx之外，一些***，如gong及其他***污染物也同时被臭氧所氧化。烟气中高浓度的粉尘或固体颗粒物不会影响到 NOx 的脱除效率。
臭氧脱硝可应用于：以煤、焦炭、褐煤为燃料的公用工程锅炉；以燃气、煤、重油为燃料的工业锅炉；铅、铁矿、锌/铜，玻璃、水泥加工、生产的各种炉窑；用于处理生物废料，轮胎及其他工业废料的燃烧炉；来自于酸洗和化工过程的酸性气流；催化裂化尾气；NO2是红棕色有特殊臭味的气体，在-10℃左右聚合成N2O4，在120℃时N2O4全部分解成NO2，温度再高NO2开始分解成NO和O2。各种市政及工业垃圾焚化炉等。
所谓臭氧脱硝，指的是除去烟气中的NOx，NOx主要是NO和NO2组成，而NO含量占90%以上。要除去烟气中的NO和NO2，就必须研究NO和NO2的性质。NO是一种惰性氧化物，它虽然溶于水，但不能生成氮的含氧酸。
在0℃时，一体积水可溶解0.07体积的NO。NO***特殊的化学性质是加合作用，在常温下能与空气中的氧化合，生成红棕色的NO2。NO是不稳定的，和O2相遇，能使O2分裂成氧原子，并和其中的一个氧原子结合成NO2。NO2是红棕色有特殊臭味的气体，在-10℃左右聚合成N2O4，在120℃时N2O4全部分解成NO2，温度再高NO2开始分解成NO和O2;NO2溶于水生成xiao酸和亚xiao酸;亚xiao酸和后面的脱硫NH3反应生成xiao酸铵，更溶于水。NO2的毒性是NO的5倍。畜禽屠宰过程使用臭氧水冲洗酮体、内脏、人手、工具和地面，既可杀灭***，同时还可以有效去除异味。
NO和NO2是怎样产生的呢?经氧化后生成的N2O5通过洗涤器很容易与烟气中水分发生反应生成HNO3，然后再同洗涤剂生成盐类，***后通过洗涤清理排出系统外。一般情况下N2和O2和不发生化合反应。氮氧化合物是在空气中放电时或在高温燃烧过程中产生的，首先生成NO，然后由NO氧化成NO2。在高温燃烧过程中空气中的氮和燃料中的氮化物等不可能燃烧的物质与氧起化学反应，首先形成NO，随后它的一部分在烟道内与氧化合形成NO2，大部分的NO从烟囱中排入大气，并与大气中的氧结合成NO2。而未被氧化成NO2的NO就在大气中与NO2共存下来。 在燃烧过程中燃烧气体温度越高，过剩空气越多，形成NO量就越多。即在燃烧效率越高的情况下，NO越容易生成。这种燃烧方式生成的NO2中NO占90%以上，NO2较少。 按照常用的燃烧方式，煤的燃烧物中NO2的含量为500-1500ppm。
臭氧脱硝系统具体的化学反应如下：
N2O5 H2O→2HNO3
HNO3 NaOH→NaNO3 H2O
臭氧脱硝系统可使NOx排放减少到10μg/g以下，可满足***严格的减排要求。并且不会使SO2转化为SO3，烟气中的颗粒物和硫化物对臭氧消耗或 NOx脱除效率的影响并不明显，该系统不仅可以***去除氮氧化物，而且对***和粉尘等颗粒物也有明显的去除效果。同时它不存在堵塞、氨泄漏等问题。本技术脱硝效率高(90%)，对烟气温度没有要求，可作为其他脱硝技术的补充，达到深度脱硝。
