真空镀膜机在使用的时候，难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物，所以经常清洗真空镀膜机也成为***机器的一个重要部分，在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前，对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命，因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等。因为溅射镀膜溅射镀膜膜层的厚度和靶电流以及放电电流具有非常大的关系，电流越高，溅射效率也就越大，在相同时间内，所镀膜层的厚度也就相对大。
真空中制备膜层可防止膜料和镀件外表的污染，消除空间磕碰，进步镀层的细密性和可制备单一化合物的特别功用的镀层。为了进步镀层厚度的均匀性，镀在真空室中夹有行星***或旋转运动的设备，如一个行星的运动形式，运动形式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载才能大，可充分利用有用空间的真空镀膜室，是一个运动的常用形式。排气体系通常由机械泵，分散泵，管道和阀门构成。2、真空蒸发镀膜机在生产的时候产品必须要用烤箱完全干燥之后才能进炉镀膜。为了进步泵的流量，能够增加增压器之间的机械泵和分散泵。
真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。