






真空镀膜机真空镀金属需要与塑料表面底漆之间的良好配合,底漆的厚度通常为10—20μm,主要作用是防止塑料中水、增塑剂等排出影响金属附着。要求涂层硬度高、底漆具有可以修饰塑料缺陷,能提供一个光滑、平整的平面以利于真空镀的性能,并与塑料底材和所镀金属附着牢固。分子泵系统属于清洁抽气系统,没有扩散泵的返油现象,抽速也相对比较稳定,而且比较省电。通常选用双组分常温固化的聚氨酯和环氧涂料,低温烘烤的氨基涂料以及热塑性***酯涂料。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。

使用磁控溅射的真空镀膜设备一般采用的是圆筒主体结构,结构上要保证快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射枪,为了使真空室和元件有足够的强度,保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。多层介质膜的涂层的沉积,真空镀膜机应该安装通风除尘设备,及时排除***粉尘。
真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
