真空电镀带正电荷的蒸发料离子，阴极吸引下，随同离子一同冲向工件，真空电镀当抛镀于工件表面上的蒸发料离子逾越溅失离子的数量时，真空电镀则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。
真空电镀工艺则有所不同，真空电镀是真空罩内进行的但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的，真空电镀蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)吸引下，真空电镀以很高的速度注入到工件表面。
真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。而设备在系统工作的时候难免会遇到一些问题，就比如说系统工作时温度过高，那么如果遇到这种情况想要解决问题，首先的步骤就是找出原因，到底是些什么原因呢？
1.缺油2.供油管线堵塞3.油泵出现问题4.油蒸汽压低于指标5.工作气体温度过高6.油泵中外来物堵塞7.抽气口与排气口错误连接8.环境温度达到或超过油蒸汽压。
真空度的高低会直接影响到镀膜的效果，检查漏气情况是保证真空镀膜机真空度的是必不可少的一项检查措施。那么在真空镀膜设备检漏的过程中有哪些是需要注意的呢？
选择光线充足的检漏场地，水槽内的背景要暗，水要清洁透明，水面上不要有汽雾。
在检漏之前要认真地清洗焊缝，清除油污、粉尘和焊渣。被检部位应尽可能地接近水面。
被检查的物件要放稳定的放在水中，等到水面静下来后再行观察。
被检查的物件一定要先充气，再放入水中，否则如果有大的漏孔，水可能进入被检容器，小孔可能被水堵塞。放入水中之前先用听音法检查有无大漏，排除大漏后再放入水中，否则将会影响小漏孔的检测。