真空镀膜机

ZHC系列多功能离子镀膜机 设备说明： ZHC-800型中频磁控多弧离子镀膜机是在本公司成熟机型的基础上，根据客户***新需求设计的新机型、。适用于金属、陶瓷、玻璃等材质表面镀制各种硬质金属膜及金属化合物膜。膜层品质出众，广泛应用于手表、眼镜、资讯产品、刀具、模具、五金、玻璃、陶瓷、建材等行业的表面处理。 设备基本配置： 1、真空室立式单开门结构，材料为不锈钢，真空室内直径自Φ800mm-Φ2000mm； 2、真空系统由机械泵、罗茨泵和国产优质分子泵（2～3台1500L/S）或（2～3台3000L/S）构成。 3、镀膜系统采用3台20KW中频电源，配有3对靶，并加有热弧装置，能有效对工作表面进行处理。 4、洗靶装置采用3套洗靶小车分别气动控制。 5、真空充气系统质量流量控制仪、气体流量显示仪。 6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置。 7、控制系统（触摸屏+PLC）在自动运转时，实时显示详细参数，全自动控制整个生产过程。 设备参数： 系统总尺寸 2500mm x2500mm x2000mm 总重量 2500kg～3000kg 总功率 85KW～106KW 抽速（空载） 5 X10-3Pa≤15min 极限真空（空载） ≤6x10-4Pa 漏气率（空载） 9x10-5Pa M3/sec 工件转速 ≥0-4r/min 烘烤温度 300℃,12KW～18KW