ZJLS 系列蒸发磁控镀膜机
设备说明：
ZJLS系列真空镀膜机是立式双开门，蒸发、磁控溅射两用镀膜机，是镀制透明膜、半透明膜、不导电膜等各种功能性膜的理想设备。
设备特点：
1． 双门均配备可公自转结构，装卸工件方便快捷。
2． ***，洁净的抽真空系统。
3． 科学的工艺控制系统，自动、手动任意切换。
4． 合理的配气系统。
5． 满足不同客户镀膜需求，灵活配置。
主要配置：
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ZJLS型规格 |
ZJLS-1200 |
ZJLS-1400 |
ZJLS-1600 |
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真空室内尺寸 |
Φ1200 X 1900mm |
Φ1400 X 1900mm |
Φ1600 X 2000mm |
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抽气系统 |
滑阀泵H-150、罗茨泵ZJP-1200、油扩散泵KC-800、维持泵2X-15 |
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充气系统 |
复合真空计、流量控制仪、流量计显示仪 |
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电源 |
脉冲溅射电源20KW、磁控溅射电源40KW、蒸发电源40KW、轰击电源6KW |
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电控系统 |
自主设计（触摸屏+PLC）控制方式，设有声光报警装置 |
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设备重量 |
6300KG |
7120KG |
8000KG |
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占地面积 |
4.2 X 5 X 3.2M |
4.6 X 6 X 3.2M |
5 X 7 X 3.3M |
主要技术指标：
●极限真空--6.0 X 10-4Pa
●抽气时间---5 X 10-2Pa≤8min(空载)
●漏 气 率--10-3PaL/S
●工件转速--1-30r/min连续可调
●沉积速率--AL≥500nm/min
●耗 水 量--35m3/h