如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢？
必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用***将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。空镀膜机电化学沉积指的是用电化学方法在金属或非金属制件表面沉积一层或多层金属镀层或合金镀层或复合镀层的技术。真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。
如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢。
一般真空室内漏气都是从室壁上的小孔或者部件之前的链接位细缝中产生，当抽风系统抽气后使真空室内压力下降，外部与内部的压力使气体从压力高的外部流向压力低的真空室，造成真空度下降。虽然这层膜具有维护作用，但是由于厚度弱，如果强力擦洗可能会损坏这层膜的平坦性，影响拍照，因此这就要求清洗时多注意。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。
涂层的镀膜机控制方法是***直接的石英晶体微天平（QCM）的方法，该仪器可以直接驱动的蒸发源，通过PID控制回路传动挡板，使蒸发率。真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。但（QCM）的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
此外，虽然QCM在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种高精度涂层优选的监控模式，镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度（如果使用得当）。