真空镀膜机在使用的时候，难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物，所以经常清洗真空镀膜机也成为***机器的一个重要部分，在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前，对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命，因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等。
机床的正常运行的情况下，真空镀膜机启动机器，你必须首先打开水管，应始终注意在工作水压力。
同时，离子轰击和蒸发，应特别注意高压电线连接器，不能接触，以防电。涂层中的电子枪，对铝的外围铃。建议用铅玻璃观察窗玻璃，应戴上眼镜观察铅玻璃，防止X射线对***的。 多层介质膜的涂层的沉积，真空镀膜机应该安装通风除尘设备，及时排除***粉尘。
扩散泵连续使用6个月以上，真空镀膜机泵送速度慢，或操作不当，空气，拆下连接管，去除电炉盘，将喷嘴拧出，先用***泵腔和泵套清洗一遍，再用洗衣粉与水混合，再洗，然后用清水清洗后，水分挥发干燥，安装泵缸套，添加新油扩散泵，并安装于本体，连接管，安装电炉盘，你可以重新启动。夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。在重新启动前，真空镀膜机应注意检漏工作。方法：保持启动泵，关上了门，几分钟后，观察局部真空扩散泵达到6×PA，否则会泄漏检查。检查是否有密封圈连接，密封圈或压碎。
