ALIO 纳米级精密***平台
北京润诚科技公司代理销售美国ALIO公司精密***平台系列产品，欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。
美国ALIO公司的高科技精密平台产品，采用压电陶瓷马达，直线和旋转运动达到纳米级的精密***。产品特点：高分辨率（5nm）、高精度、高速度（250mm/sec）、行程大（12mm-400mm）、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境（大气、无尘、真空环境中应用）。
产品分类如下:
§ 并联结构精密工作台
§ 直线***平台和回转***平台
§ 真空系统应用平台
§ 气体轴承平台
§ 步进电机平台
§ 手动直线***和回转***平台
直线***平台和回转***平台
直线***平台: 分辨率可达 5nm，行程为 12mm—400mm，***大速度 250mm/sec
回转***平台: 分辨率可达 0.02 are sec, 360度旋转,***大速度为 360deg/sec。
直线***平台简介：
型号 行程 负载力 尺寸
AI-HR1-1200E 18mm 3.5 N 65/90/25 mm
AI-HR2-1200E 18mm 8 N 65/90/25 mm
AI-D2-1200E 12mm 16 N 65/118/25 mm
AI-2500E 25 mm 8 N 88/114/30 mm
AI-HR4-2500E 25 mm 16 N 88/114/30 mm
AI-D4-2500E 25 mm 32 N 88/140/30 mm
AI-D8-2500E 25 mm 64 N 88/140/40 mm
AI-HR-5000E 50 mm 8 N 100/114/30 mm
AI-HR4-5000E 50 mm 16 N 100/114/30 mm
AI-D4-5000E 50 mm 32 N 100/135/30 mm
AI-D8-5000E 50 mm 64 N 100/135/40 mm
AI-D8-5000E 50 mm 64 N 100/135/40 mm
AI-HR4-10000E 100 mm 16 N 155/114/30 mm
AI-D4-10000E 100 mm 32 N 155/140/30 mm
AI-D8-10000E 100 mm 64 N 155/140/40 mm
AI-HR4-15000E 150 mm 16 N 255/138/30 mm
AI-D4-15000E 150 mm 32 N 255/160/30 mm
AI-D8-15000E 150 mm 64 N 255/160/40 mm
AI-HR4-20000E 200 mm 16 N 330/138/35 mm
AI-D4-20000E 200 mm 32 N 330/160/35 mm
AI-D8-20000E 200 mm 64 N 330/160/45 mm
AI-D4-30000E 300 mm 32 N 485/164/40 mm
AI-D8-30000E 300 mm 64 N 485/190/50 mm
AI-D4-40000E 400 mm 32 N 610/200/50 mm
AI-D8-40000E 400 mm 64 N 610/200/60 mm
回转***平台简介：
型号 旋转角度 分辨率 速度 尺寸
AI-40R-D 360 degrees 0.03 arc sec 360 deg/sec 60 dia. / 32 ht. mm
AI-80R 360 degrees 0.06 arc sec >180 deg/sec 100 dia. / 28 ht. mm
AI-133R 360 degrees 0.06 arc sec 360 deg/sec 133 dia. / 60 ht. mm
AI-105G 360/180 degrees 0.08 arc sec 180 deg/sec 133 dia. / 157 ht. mm
AI-133G 360/180 degrees 0.08 arc sec 180 deg/sec 133 dia. / 183 ht. mm