北京润诚科技公司代理销售美国ALIO公司精密***平台系列产品,欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。
美国ALIO公司的高科技精密平台产品,采用压电陶瓷马达,直线和旋转运动达到纳米级的精密***。产品特点:高分辨率(5nm)、高精度、高速度(250mm/sec)、行程大(12mm-400mm)、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境(大气、无尘、真空环境中应用)。
产品分类如下:
§ 并联结构精密工作台
§ 直线***平台和回转***平台
§ 真空系统应用平台
§ 气体轴承平台
§ 步进电机平台
§ 手动直线***和回转***平台
真空系统应用平台
提供适用两种真空度(10e-7托或10e-10 托)的精密平台, ***高工作温度为100度,***高烘培温度为135度。
直线***平台参数(真空型)
行程 12 mm to 400 mm
负载力 3.5 N to 70.4 N
分辨率 5 nm,10 nm,20nm,50nm,100nm,500nm, 1 micron, and 5 micron
重复性 分辨率的2- 3倍(取决于运动参数)
回转***平台参数(真空型)
旋转角度 360度
重复性 分辨率的2- 3倍(取决于运动参数)
精度 1 arc sec to 5 arc sec
6维并联结构平台
运动空间 10 mm cube to 100 mm cube
分辨率 5 nm
重复性 50 nm at tool center point
