三维MEMS形貌仪
基于世界独有长距离干涉显微镜专利技术，实现长工作距离三维MEMS形貌成像！ 该精密仪器适用于MEMS器件的三维成像、表面计量、结构测试；配备客户定制要求的微电子测试探针台；长工作距离同时也满足标准探针或探针卡的测试需求。可选择大范围扫描平台，实现整个Wafer表面的MEMS结构的纳米级高度形貌测试。 整合了防震台、两个左手操作真空底座探针显微***器、两个右手操作真空底座探针显微***器、标准绿色LED光源、标准2/3英寸黑白CCD相机；图像处理系统包含NI的模拟输出卡、IMAQ可视化驱动引擎、IMAQ卡、NI-IMAQA卡；计算机控制系统配备实时视频采集功能。
主要特点
长工作距离确保足够的MEMS测试探针操作空间
全窗口范围测量
标准5X、10X、20X物镜
纳米级分辨率
价格适中
配置灵活
满足***微系统研究人员测试需求
MEMScriptTM软件,可实现三维MEMS形貌测试，控制MEMS器件，分析器件特性，实时器件性能测量。
MEMScript 软件特点
相移干涉三维形貌测量(PSI)
振动波输出
Decision making capability (full logical branching)
频闪检查成像功能
简洁用户界面
光源亮度自动设定
提供GPIB外部设备控制界面
提供串口外部设备控制界面
兼容Intelliw***eTM软件
MATLAB, IDL, MS Excel,and LabVIEW软件界面
电压放大器选件 真空源&快门控制选件
***物镜选件 垂直扫描VSI测量选件
大范围扫描,闭环控制
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
经济型MEMS三维形貌仪 模块化MEMS三维形貌仪
