UPS03气路控制系统

UPC 03

UPC 03控制单元

UPC 03 控制器是宽为14 TE和高为3 HE的19英寸框架插件式插入单元。在供货时,也可为此插件配置外壳以便置于桌上直接使用。

通过set parameter 开关可以选择已设定好的三组参数。通过mode开关可以选择工作状态。 工作状态 close是指控制阀门关闭, 控制器不工作。工作状态 ctrl. 是压力被输入的设定值(sp)调整。在drive 位置下, 流经控制阀的气体流量可以根据设定值得以控制。

通过up/down 开关参数(如: 设定值指标)可以被设定。通过 back/next开关可以进行菜***择。显示屏位于控制器前面板，在显示屏上显示当前测量值, 预设定值, 被选择的参数组和阀门电压。

PCV 03

PCV 03/04

UPS 03控制回路可使系统中的气压与进气量变化相关。一个压电陶瓷弯曲片和一个密封元件用以实现控制阀的动作。正以直流正电压驱动时，压电陶瓷片的弯曲立即引起毛细气管张开，从而释放给定流量的气体进入工艺腔室。
该控制室的输出(0…150V)通过单芯同轴接头与PCV 03控制阀联接。
该控制器的输出(0...150V)通过双芯(已绝缘)与PCV 04控制阀联接。