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北京朗铭润德光电科技有限公司

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我公司为德国FHR公司中国独家代理。并同法国Annealsys公司,法国flowlink公司,法国MPA公司及德国centrothermcleansolutions公司有着良好的合作关系。法国Annealsys公司主要产品为RTP快速退火炉,法国flowlink公司主要产品为高纯高危气路用阀门,法国......

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原子层沉积设备

产品编号：6526241 更新时间：2015-11-23

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北京朗铭润德光电科技有限公司

主营业务：annealsys RTP 快速退火炉,fhr 柔性镀膜设备...
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产品详情

S***annah系列

原子层沉积设备

S***annahG2

基本性能
ALD设备
可选腔室尺寸：100mm, 200mm 或 300mm
标准腔室温度：350℃
占地面积小
标配2个气源，可选配6个气源
性能可扩展，灵活性高
设备设计精简
设备内整合了蒸气阱
可选配多种性能
S***annah G2 ALD设备优势
快速ALD工艺处理 (2秒处理AL2O3)
增强版气源 & 气体传送
设备控制系统性能高
新型软件结构
在线椭圆测量
整合了在线石英晶体微量天秤
低压沉积性能高
批量处理不同气源
高温手套箱解决方案
粒子沉积系统
可选等离子增强ALD性能

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