我公司为德国FHR公司中国独家代理。并同法国Annealsys公司,法国flowlink公司,法国MPA公司及德国centrothermcleansolutions公司有着良好的合作关系。法国Annealsys公司主要产品为RTP快速退火炉,法国flowlink公司主要产品为高纯高危气路用阀门,法国......
| 价格： | 来电议定 |
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Fiji 系列
基本性能
200mm 热/等离子ALD设备
可选腔室尺寸：100mm, 200mm 或 300mm
标准基本卡盘温度：500℃，可选配800℃
远程电感耦合等离子源，300Watt
标配4个气源，可选配6个气源
标配4种等离子气体，可选配6种等离子气体
性能可扩展，灵活性高
设备设计精简
在线观察膜层
模块化设计
整合ALD蒸气阱
可选配自动化进样室
Fiji G2 等离子辅助ALD设备优势
增强版等离子源
增强版气源及气体传送
增强版控制系统
在线椭圆偏振测量
整合了在线石英晶体微量天秤
低压沉积性能高
可选800℃高温版本
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