我公司为德国FHR公司中国独家代理。并同法国Annealsys公司,法国flowlink公司,法国MPA公司及德国centrothermcleansolutions公司有着良好的合作关系。法国Annealsys公司主要产品为RTP快速退火炉,法国flowlink公司主要产品为高纯高危气路用阀门,法国......
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低成本4英寸、6英寸RTP快速热处理设备
应用：
RTA（快速热退火） RTO（快速热氧化） 扩散 化合物半导体退火 渗氮，渗硅 结晶化与致密化
特点：
适用于4英寸和6英寸晶圆 高可靠性和低拥有成本。不锈钢冷壁腔体技术； 高工艺重复性 超清洁无污染环境、 高冷却速率低记忆效果。 可实现高达10-6 mbar的高真空环境。 高温计和热电偶控制 高速数字PID温度控制器 边缘高温计视点保障了化合物半导体和小样本的基座的加强温度控制。
使用特点： 温度范围：RT to 1250°C 斜坡速率：***高200°C/s 气体混合功能：使用质量流量控制器控制。 真空范围：大气压～10-6 Torr
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