北京朗铭润德光电科技有限公司代理法国Annealsys快速退火炉(RTP)
优越的性能：
1. 多区红外卤灯加热增强温度均匀性；
2. 热耦合高温计同时测温，测温结果更***；
3. 可在大气和真空下退火；
4. 温度控制精度&plu***n;1℃
5. 手动或盒到盒式装载系统，可用于小批量生产；
6. 可选快速降温功能，提高降温速率至100℃/s。
产品展示：annealsys快速退火炉As-Master。
AS-Master快速热处理工艺设备能够实现从退火到快速热处理CVD广泛领域工艺要求。高温型可满足运行温度高达1500℃的退火工艺。可选择方形腔体，以完成较大正方形的或者长方形样品的工艺。不锈钢冷壁腔体技术；高工艺重复性超清洁无污染环境、装载器和集成设备模块型号能够实现工艺环境清洁度的改善。宽温度范围、高真空以及多路气体混合能力，使得As-master适合广泛领域的RTP和RTCVD工艺。热电偶温度测量和快速数字PID温度控制器保障高温稳定。
