我公司为德国FHR公司中国独家代理。并同法国Annealsys公司,法国flowlink公司,法国MPA公司及德国centrothermcleansolutions公司有着良好的合作关系。法国Annealsys公司主要产品为RTP快速退火炉,法国flowlink公司主要产品为高纯高危气路用阀门,法国......
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法国Annealsys品牌 As-Master 快速退火炉
基片：***大200mm 应用广泛的RTP/RTCVD设备、温度范围：室温至***大1500°C、压力范围：大气压到10-6托、应用：注入退火、接触退火、碳化硅、快速热氧化作用、快速热氮化作用、快速热CVD等、***设备，手动或盒到盒装载模式
产品特性：
多区红外线卤素灯退火炉配有闭环空气冷却
不锈钢冷壁腔室技术
快速数字PID温度控制器
热电偶和高温计控制
大气和真空工艺性能
配有针阀的吹扫气路
***多6条工艺气路，配有MFC
配有以太网通讯的PC控制，用于快速数据记录
可选配涡旋泵和压力控制
手动或盒到盒装载
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