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北京朗铭润德光电科技有限公司

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我公司为德国FHR公司中国独家代理。并同法国Annealsys公司,法国flowlink公司,法国MPA公司及德国centrothermcleansolutions公司有着良好的合作关系。法国Annealsys公司主要产品为RTP快速退火炉,法国flowlink公司主要产品为高纯高危气路用阀门,法国......

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朗铭独代德国FHR磁控溅射设备

产品编号：5357364 更新时间：2013-07-08

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北京朗铭润德光电科技有限公司

主营业务：annealsys RTP 快速退火炉,fhr 柔性镀膜设备...
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产品详情

FHR Micro200PVD
单腔单靶设计
实验室用磁控溅射设备
基片***大直径200mm

工艺
可选DC或RF版本

设备优点
占地面积小，设计精简
便于使用
内部研发的阴极结构，膜层厚度均匀性好
便于维护
使用研发和教学
低投入和操作成本

基本参数：
尺寸                      750 mm x 600 mm x 1400 mm, 200 kg
工艺腔室数            1
基片尺寸                ***大30mm (使用定距环＞ 30 mm)
均匀镀膜面积       直径150 mm
......
更多信息，请联系北京朗铭薛小姐：

电话：010-8225 4950-0/13717751386

邮箱：sales@

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