德国FHR-line.2500 CIGS太阳能镀膜设备

ne.XXX 产品系列
FHR 在线式设备
产品优化、产量高的中试线及实验线
   在线式或摆动式基片传输
   可实现前后端同步镀膜
   可整合不同工艺技术


德国FHR-Line.2500 CIGS太阳能电池镀膜设备。FHR 在线式设备产品优化、产量高的中试线及实验线，在线式或摆动式基片传输，可实现前后端同步镀膜，可整合不同工艺技术。
在线式理念是大面积、高产能基片沉积及镀膜的正确解决方案。可根据客户基片尺寸要求，***提供水平或垂直基底的在线式解决方案。应客户要求，可实现手动或全自动传输模式及加热或刻蚀预处理基片。

可整合不同工艺技术
   磁控溅射
   热蒸发
   Chemical vapor deposition (CVD) / Pla***a-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
   Atomic layer deposition (ALD)
   Pla***a etching (PE) / Reactive ion etching (RIE)
   Annealing (FLA & RTP)

多腔设备特殊应用
光伏
   Solar Thermals(CSP)
   建筑玻璃
   传感器工艺
   光学
 

FHR Anlagenbau GmbH
德国 FHR Anlagenbau GmbH 公司（centrotherm photovoltaics group）以其***的技术创新力量和稳定的设备生产能力获得了国际认可。

德国 FHR Anlagenbau GmbH 公司（centrotherm photovoltaics group）以其***的技术创新力量和稳定的设备生产能力获得了国际认可。特别是德国 FHR Anlagenbau GmbH 公司拥有自主研发和生产柔性太阳能薄膜电池镀膜设备的实力，为公司在太阳能薄膜电池领域不断开拓提供了坚实有力的保障。